作者：王闯 张钧al多弧离子镀显微硬度附着力合金靶
摘要：采用多弧离子镀技术并使用合金靶制备（Ti，Al，Cr）N多组元硬质膜。利用扫描电镜、X射线衍射仪对（Ti，Al，Cr）N膜层表面及断面形貌、成分、结构等进行观察测定，系统考察了沉积工艺对（Ti，Al，Cr）N膜层质量、硬度、膜／基结合力的影响，通过与TiN，（Ti，Al）N和（Ti，Cr）N等硬质膜进行比较，发现采用Ti—Al-Cr合金靶所制备的（Ti，Al，Cr）N硬质膜具有更高的硬度和更好的附着力，同时对沉积工艺有较强的适应性。
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