一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

作者：刘瑞 汪红 丁桂甫 李雪萍 杨春生微弹簧电铸mems

摘要：针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差，采用UV—LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁，这样即可测量大变形薄膜的力学性能。实验结果表明，用UV—LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性，在较大的变形范围内有很好的线弹性。

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