基于UV-LIGA技术的电磁型射频MEMS开关的集成制作

作者：张永华; 欧阳炜霞; 汪红; 丁桂甫; 蔡炳初...微机电系统射频开关双稳态电磁驱动集成加工

摘要：电磁型MEMS开关比静电式的结构复杂,一体化集成加工困难.对于新型电磁驱动双稳态RF MEMS开关进行了材料的选择,并对一些主要材料的电镀和悬空结构的制备与释放进行了工艺优化研究.经过工艺整合,实现了电磁型RF MEMS开关的多种非硅材料和多元结构形式的一体化集成加工.

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