多层薄膜微结构热应力计算

作者：王锡明; 王军军; 周嘉微机电系统残余应力模拟

摘要：建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式.在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性.所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据.

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