脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜

作者：马波; 刘波; 吴一辉; 贾宏光; 张平硅基镍铁薄膜脉冲电流晶粒

摘要：应用脉冲电镀法在硅片上制备细晶粒镍铁合金薄膜,对电镀工艺参数与形成的沉积层的微观组织关系进行了探讨.通过改变脉冲电源的电参数来研究其对镀层结构和微观形貌的影响.运用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)等实验手段对电镀层微观结构进行了观测与分析.研究表明,随着电流密度的增加与脉冲频率的加大,沉积层晶粒明显细化,致密度增大,使镀层质量得到很大的提高.

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