电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究

作者：卢文娟; 张玉林; 孔祥东电子束抗蚀剂能量剂量

摘要：在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出了不同能量、不同剂量下的有效穿透深度曲线,以及两种抗蚀剂在能量为25 keV的电子束辐射下的临界剂量,固化出了十字形微结构.

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