多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究

作者：姜勇; 陈文元; 赵小林; 丁桂甫; 倪志萍; ...准liga套刻种子层表面活化

摘要：准LIGA加工工艺通常、能加工单层准三维体.本研究采用SU-8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构.实践证明,所提出的工艺实际可行,进一步拓展了准LIGA工艺的应用.

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