飞秒激光双光子复杂结构的微细加工

作者：袁大军; 蒋中伟; 郭锐; 徐藻; 王翔; 黄文...双光子激发光聚合飞秒激光器三维微器件

摘要：阐述了双光子激发的原理和飞秒激光三维加工的技术特点.利用自行研制的飞秒双光子微细加工系统,在优化工艺参数的基础上,加工出一系列三维微结构,并实现了可动的三维微系统-齿轮轴系统的一次成型.

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