作者：张永华; 丁桂甫; 蒋振新; 蔡炳初; 沈民谊mems技术射频移相器微电子机械系统开关相控阵天线插入损耗rf性能
摘要：微波与毫米波移相器是通讯和雷达应用上相控阵天线的基本单元,MEMS技术的引入提供了一个在移相器设计中用最小损耗的开关来大量减少移相器插入损耗的方法,该方法可以降低器件的功耗,改善插入损耗、隔离度、频带宽度等性能.相比于GaAs移相器,基于MEMS开关的射频移相器,无论是开关线型、分布式或是反射型,都有很好的RF性能.
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