作者：刘长春; 崔大付; 赵强; 王利; 王蕾mems技术集成电极电泳微芯片dna分离聚二甲基硅氧烷pdms微流体生物芯片
摘要：介绍了一种基于MEMS技术的PDMS电泳微芯片,该芯片主要由三部分组成:集成了高压电极的玻璃基底、PDMS薄膜以及刻有微流路的PDMS板.利用lift-off工艺,在玻璃基底上制作了为电泳分离提供高压的Pt电极.为了提高PDMS微芯片的密封效率,同时也为了保持微流路材料的一致性,通过挤压法首先在玻璃基底上形成了一层PDMS薄膜.电泳分离实验表明:在该微芯片上能够实现DN段的有效分离.
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