磁悬浮转子微陀螺的微细加工工艺研究

作者：吴校生; 陈文元; 赵小林; 张卫平; 何淼磁悬浮转子微陀螺微细加工工艺平面线圈体硅腐蚀

摘要：介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,其中冲压能得到质量较好的微转子;上壳体采用体硅腐蚀来制作.初步的实验表明该方案是行之有效的.

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