作者：于洪宇; 朱学毅; 李立勇; 杨稳低刚度摆片加工研磨刻蚀镀膜
摘要：针对高精度石英挠性加速度计对石英摆片性能改进的需求,梳理出在加工制造过程中应克服的工艺难点,对其中的研磨、刻蚀、激光切割、镀膜四个关键工序开展研究,提出各工序具体的工艺实现及采取的工艺措施,最终概括了各工序工艺要领,提出工序融合,互相兼顾的工艺思想。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《物探与化探》（CN：11-1906/P）是一本有较高学术价值的大型双月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《物探与化探》以“科学技术是第一生产力”为方针，面向国民经济建设，促进物探、化探科技进步、交流与推广；侧重应用，服务基层；学术性与技术性相结合，生产、科研和教学兼顾。
部级期刊
人气 9386 评论 48
