作者：谌贵辉; 张万里; 彭斌; 蒋洪川mems致动器微电动机
摘要：微电子机械系统(MEMS)技术在未来的发展有着重要的意义,文章介绍了MEMS微致动器和各类驱动模式的优缺点,并以微电动机为例,详细比较了其执行机制和原理.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《微特电机》（CN：31-1428/TM）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《微特电机》是一本集技术性、学术性于一身，融广告商情、行业信息于一体的综合性专业权威期刊，读者面已覆盖国内外微特电机行业及其相关配套业、专业院校和研究单位等。微特电机是一种量大面广的产品，广泛用于家电、视听、汽车、医疗器械、办公设备、计算机外设、工业自控设备等领域。
北大期刊、CSCD期刊、统计源期刊
人气 47848 评论 51
统计源期刊
人气 32950 评论 58
人气 21877 评论 58
人气 21530 评论 56
