微机电系统技术微电子机械系统微电子技术systems应用卫星机械加工技术传感器技术
摘要:微机电系统(MEMS)技术MEMS这个新技术术语,近年来不但在传感器技术、测控技术和微电子技术领域频繁出现,也在航天技术领域中不断出现。它是“Micro Electro Mechanical Systems“的缩写,有的译成“微机电系统”,也有译成“微电子机械系统”的。微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸,它将微电子技术和精密机械加工技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社