作者：赵正平智能温度传感器mems结构传感器技术mems谐振器温度分辨率高精度cmos热敏电阻
摘要：3.智能温度传感器 智能温度传感器的温度传感单元具有包含MEMS结构的多种类型,如MEMS谐振器、BJT、CMOS、热敏电阻和光纤等,广泛应用于生物信号提取、环境监测和芯片内的过热保护等方面。智能温度传感器的设计必须考虑各种要求的差异,如分辨率、精度、微调点的数量、面积、转换时间和能源效率。在不同的应用中需要强调的问题是不同的。例如,高温性能频率参考源的在片温度补偿,高温度分辨率是基本要求,使得频率源的抖动噪声最小化,而对温度精度的要求可以放宽为中等级。在这样的应用中可以通过温度多点校正以达到必要的精度。智能温度传感器总体是向高分辨率、高精度、高能量效率、低功耗和微形化的方向发展。
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