作者：孙英; 尹泽楠; 许玉杰; 刘非触觉传感器柔性微电容电极介质材料灵敏度
摘要：通过分析电容式触觉传感器的基本工作原理与研究热点,指出了电容式触觉传感器在结构设计中存在着难以兼顾分辨率、测量精度和灵活性的关键问题。参照电容式触觉传感器内的微电容结构,从微电容的电极层、介质层和整体结构等三个方面出发,介绍了国内外电容式柔性触觉传感器近年来在新材料应用、新工艺引入、结构设计和三维力检测等方面的研究进展,提出可调节测量范围与灵敏度的触觉传感器将是进一步研究的热点。最后结合电容式柔性触觉传感器的实际应用,指出了未来的电容式触觉传感器正朝着微型化、集成化、透明化与多功能化等方向发展。
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