作者：冯辰; 刘同冈; 商金玮; 赵志强微摩擦磨损摩擦副测试仪器分辨力
摘要：相对于传统机械而言,微机电系统（MEMS）器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜（STM）、原子力显微镜（AFM）、摩擦力显微镜（FFM）等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象。并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望。
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