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微纳电子技术 2015年第11期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

基于碳纳米管冷阴极X射线管电子源研究进展第681-687页

关键词: 碳纳米管；  场发射；  x射线管；  冷阴极；  阳极靶；  

微纳电子技术杂志器件与技术

TiO2纳米线胶光散射层的染料敏化太阳电池性能第688-691页

关键词: tio2纳米线胶；  光散射层；  光电转换效率；  分散性；  

微纳电子技术杂志材料与结构

石墨烯掺杂研究进展第692-700页

关键词: 石墨烯；  掺杂；  吸附；  替位；  介质；  金属；  

ZnO纳米线的制备及其气敏特性第701-706页

关键词: 水热法；  zno纳米线；  气敏特性；  灵敏度；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

基于微细加工技术的高精度荧光检测生物芯片第707-712页

关键词: 微细加工技术；  液相荧光检测；  生物芯片；  变深度微沟道；  变宽度微沟道；  检测灵敏度；  

低频响应MEMS压电式微型振动发电机第713-717页

关键词: 低频响应；  微型振动发电机；  pzt膜；  输出功率；  

基于光镊原理的光纤激光驱动细胞方法第718-721页

关键词: 光镊；  光压；  细胞驱动；  光纤；  微流控芯片；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于粘滑原理纳米定位平台的设计和分析第722-728页

关键词: 粘滑原理；  柔性铰链；  预紧力；  适用性；  动力学分析；  

碳化硅直接键合及其界面微观结构分析第729-732页

关键词: 碳化硅键合；  键合强度；  微观结构；  亲水性表面处理；  退火；  过渡层；  

磨料粒径对多层Cu布线CMP的影响第733-736页

关键词: 粒径；  多层cu布线；  抛光速率；  表面状态；  

氧化剂在TSV铜膜CMP中钝化机理第737-740页

关键词: 去除速率；  开路电位；  静态腐蚀电位；  钝化作用；  氧化剂；  

Ni纳米线的化学还原法可控制备第741-746页

关键词: ni纳米线；  化学还原法；  磁场强度；  表面形貌；  

第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知第747-748页

关键词: 专用集成电路；  中国电子学会；  国际电机；  北京分会；  电子工程师；  电子科技大学；  http；  优秀学生论文；  器件技术；  中国成都；