微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2015年第05期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

808nm大功率激光二极管随机失效分析第273-277页

关键词: 大功率激光二极管；  随机失效；  熔毁缺陷；  功率衰减；  灾变失效；  

微纳电子技术杂志材料与结构

矩阵磁场作用下磁性液体薄膜的微形变第278-282页

关键词: 微镜；  磁性液体；  薄膜；  矩阵磁场；  微形变；  

用于3mm器件的GaAsPHEMT外延材料第283-288页

关键词: 3；  mm器件；  gaas；  phemt；  电子迁移率；  ingaas；  电子有效质量；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

新型微流体惯性开关的结构设计及仿真第289-293页

关键词: 微惯性开关；  流体；  超低温导电液；  闭锁能力；  惯性流动；  

一种新型压力传感器结构制备工艺第294-298页

关键词: 压力传感器；  岛膜结构；  深槽光刻；  自对准；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于AFM探针的PZT标定和纳米尺度操控第304-309页

关键词: 纳米操作；  虚拟纳米手策略；  

微流控芯片上水中油滴及其体积分数测量技术第310-317页

关键词: 微流控芯片；  油滴检测；  油份体积分数；  脉冲信号；  

基于液滴稳态面形计算的微小透镜制作技术第318-324页

关键词: 微光学器件；  微小透镜；  最小自由能原理；  液滴面形；  紫外光固化胶；  

基于外部激活表面高温状态下的硅-硅键合第325-328页

关键词: 表面激活；  表面态；  高温退火；  空洞；  键合强度；  

PDMS仿生疏水表面的制备第329-333页

关键词: 疏水性；  微纳米结构转印技术；  光刻；  静态接触角；  

钨CMP中碱性抛光液组分间化学作用及其影响第334-338页

关键词: 碱性抛光液；  钨插塞；  ph值；  抛光速率；