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微纳电子技术 2014年第08期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志材料与结构

银掺杂对MoS2薄膜特性的影响第498-502页

关键词: 晶体结构；  光吸收特性；  迁移率；  

氧化钌及其复合电极的制备与性能第508-511页

关键词: 电沉积；  氧化钌；  超级电容器；  氧化石墨烯；  干燥；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

一种非对称结构微流体混合器的设计与分析第512-517页

关键词: 微流体混合器；  非对称分离重组；  雷诺数；  有限元方法；  混合效率；  

一种可调频的压电式振动能量采集器第518-522页

关键词: 振动能量采集；  共振频率；  压电；  pvdf薄膜；  调频；  永磁体；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

GaAs/Si直接键合用GaAs表面化学活化技术第523-528页

关键词: 疏水性；  直接键合；  清洗工艺；  原子力显微镜；  表面均方根粗糙度；  

同轴电纺制备纳米纤维影响因素的研究进展第529-535页

关键词: 同轴静电纺丝；  纺丝工艺；  复合结构；  纳米纤维；  

LED用图形化蓝宝石衬底的干法刻蚀工艺第536-541页

关键词: 干法刻蚀；  刻蚀速率；  刻蚀选择比；  gan外延层；  

液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺第542-547页

关键词: 微纳加工；  子阵列寻址；  电子束直写光刻；  激光直写光刻；