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微纳电子技术 2014年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

基于贝叶斯模型的QCA扇出结构转换特性第73-77页

关键词: 扇出；  贝叶斯模型；  转换特性；  正确概率；  

纳米技术在太阳电池中的应用进展第78-82页

关键词: 关键词；  纳米技术；  太阳电池；  硅纳米太阳电池；  碳纳米管太阳电池；  光电转换效率；  

微纳电子技术杂志材料与结构

用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析第89-93页

关键词: 纳米吸气剂；  电化学腐蚀法；  气敏特性；  灵敏度；  

单Mo和Mo／S共掺杂锐钛矿相TiO2的电子结构计算第94-98页

关键词: 掺杂；  锐钛矿相；  第一性原理；  电子结构；  吸收光谱；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

微加工工艺制作的静电吸片及其切向吸附力第99-104页

关键词: 静电吸附；  介质薄膜；  微加工工艺；  剪切压强；  静电吸片；  

检测三磷酸腺苷的交流阻抗型适体传感器第105-109页

关键词: 适体传感器；  交流阻抗；  薄膜金电极；  二茂铁；  

基于压电效应的MEMS振动式微能源器件第110-114页

关键词: 振动；  压电转换；  微能源；  输出电压；  

新型声表面波湿度传感器第115-119页

关键词: 乐甫波；  湿度传感器；  相对湿度；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

不同磨料对蓝宝石CMP的影响第120-125页

关键词: 蓝宝石；  单一磨料；  混合磨料；  去除速率；  

纳米陶瓷颗粒增强金属基复合材料的制备技术第126-130页

关键词: 纳米陶瓷颗粒；  金属基复合材料；  固相烧结技术；  液态铸造技术；  超声振动；  

Au／Sn共晶键合技术在MEMS封装中的应用第131-135页

关键词: 圆片级键合；  键合温度；  前处理；  应力；  剪切强度；  漏率；  

微纳电子技术杂志国际视点

产品第136-138页

关键词: 半导体产品；  自动处理系统；  外观设计；  mems；  生产效率；  经营成本；  抗蚀剂；  生产率；  

市场第138-138页

关键词: 市场；  bosch公司；  反应离子蚀刻；  mems；  工艺开发；  商业系统；  科技；  新加坡；  

第一次征文通知第十二届固态和集成电路技术国际会议第139-140页

关键词: 集成电路技术；  国际会议；  征文通知；  固态；  ieee；  sscs；  学术组织；  国内外；