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微纳电子技术 2012年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

纳电子学的发展（续）第69-77页

关键词: 纳电子学；  场效应器件；  库伦阻塞效应；  cmos；  隧穿效应；  nems；  电子机械；  铁电电容；  

微纳电子技术杂志材料与结构

纳米ZnO光学性质研究进展第83-89页

关键词: zno；  喇曼；  透射；  

ZnO纳米晶须的形态控制及其结构表征第90-95页

关键词: zno纳米晶须；  氧气体积流量；  生长温度；  热蒸发法；  zn薄膜；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

单偏置电压多位分布式MEMS传输线移相器第102-107页

关键词: 分布式mems传输线移相器；  下拉电压；  单偏置电压；  相移偏移；  

地震勘探用电容式闭环微加速度计的仿真第108-112页

关键词: 加速度传感器；  闭环系统；  仿真；  地震勘探；  

直接栅MOSFET静电场传感器温度漂移模型和模拟第113-117页

关键词: 直接栅mosfet；  静电场传感器；  温度漂移；  载流子浓度；  载流子迁移率；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

基于LIGA技术制作金属微针阵列第118-123页

关键词: mems微针；  移动liga工艺；  x射线曝光；  电镀；  pdms转模；  

剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究第124-128页

关键词: 滤波器；  剥离；  陡直度；  

基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺第129-133页

关键词: 背面曝光；  正面套刻；  双层微齿轮；  模具镶块；  

过硫酸铵在TMAH体硅刻蚀中的作用第134-139页

关键词: 各向异性刻蚀；  粗糙度；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第140-140页

关键词: 高分子复合材料；  技术；  电学性能；  平板显示器；  材料构成；  静电屏蔽；  碳纳米管；  物理学家；  

市场第140-140页

关键词: 相机市场；  红外摄像机；  长波红外；  温度记录；  非致冷；  中规模；  影像；  商用；