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微纳电子技术 2011年第11期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志技术论坛

纳米尺度自旋转移矩器件的制备工艺第685-688页

关键词: 纳米柱；  磁性多层膜；  电子束曝光；  离子束刻蚀；  正胶剥离；  

微纳电子技术杂志器件与技术

纳米MOSFET的多栅结构和应变硅纳米线结构第689-696页

关键词: 场效应晶体管；  多栅结构；  应变；  硅纳米线；  围栅；  

体积小重量轻的SiC微波脉冲功率晶体管第697-701页

关键词: 脉冲功率晶体管；  内匹配技术；  微波；  

微纳电子技术杂志材料与结构

用于高效太阳电池的硅基微纳结构及制备第702-709页

关键词: 硅基微纳结构；  太阳电池；  陷光；  纳米线；  多孔硅；  

用于染料敏化太阳电池的新型碳纳米管材料第710-713页

关键词: 对电极；  碳纳米管薄膜；  电泳沉积；  循环伏安法；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

缩短RFMEMS开关释放时间的上悬梁方法第714-719页

关键词: rfmems开关；  释放时间；  开关速度；  上悬梁；  空气压膜阻尼；  

微系统中铜微梁构件损伤的内部驱动应力研究第720-724页

关键词: 疲劳损伤；  晶胞；  细观力学；  微梁；  

基于复合形法的低g微惯性开关结构优化设计第725-732页

关键词: 微惯性开关；  优化设计；  复合形法；  参数化设计；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

超低k介质材料低损伤等离子体去胶工艺进展第733-738页

关键词: 等离子体去胶；  多孔超低k介质；  空气隙；  等离子体损伤；  损伤修复；  

高密度螺旋波等离子体源的应用进展第739-743页

关键词: 螺旋波；  等离子体源；  磁场；  刻蚀；  薄膜沉积；  火箭推进；  

半导体器件硅衬底化学机械平坦化研究第744-748页

关键词: 材料去除速率；  抛光液；  总厚度变化；  分立器件；  

有机胺碱对硅粗抛光及表面微形貌的影响第749-752页

关键词: 硅单晶片；  有机胺碱；  抛光液；  抛光速率；  表面粗糙度；