微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2010年第10期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

石墨烯基电子学研究进展第589-594页

关键词: 石墨烯；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

利用共振隧穿器件制作太赫兹波源第595-602页

关键词: 太赫兹波；  太赫兹波源；  共振隧穿器件；  振荡源；  毫米波；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

Si衬底GaN外延材料六角形缺陷分析第603-605页

关键词: gan；  六角形缺陷；  aln形核层；  温度；  si衬底；  

Bi_（3.5）Yb_（0.5）Ti_3O_（12）铁电薄膜的制备及性能第606-609页

关键词: 铁电薄膜；  退火；  铁电性能；  结晶度；  

HVPE法制备GaN过程中GaAs衬底的氮化第610-613页

关键词: gan；  氮化层；  gaas；  xrd；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

Si-玻璃阳极键合失效机理研究第619-623页

关键词: 微电子机械系统；  阳极键合；  微惯性传感器；  二氧化硅；  钾离子污染；  键合失效；  

二维变形方波微混合器混合效果第624-628页

关键词: 微流控芯片；  微流体；  混合；  微混合器；  变形方波微混合器；  

一种基于BCB键合技术的新型MEMS圆片级封装工艺第629-633页

关键词: mems；  光刻；  密封；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

干涉空间相位光刻对准方法研究第634-637页

关键词: 干涉空间相位对准；  莫尔条纹；  补偿光路；  ccd细分；  曲线拟合；  

pH值调节剂对Si片CMP速率的影响第643-646页

关键词: 有机碱；  koh；  硅片；  溶解度；  抛光速率；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

半导体工艺线CAM及SPC的应用第647-651页

关键词: 半导体工艺线；  工艺监控；  工艺调整；  控制图；  

第三届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知（第三轮）第652-652页

关键词: 中国电子科技集团公司；  纳电子技术；  学术研讨会；  技术交流；  三轮；  科技信息服务；  学术交流会议；  行业协会；