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微纳电子技术 2010年第05期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志纳米材料与结构专辑

纳米La_2O_3及其复合氧化物的制备方法研究进展第257-266页

关键词: 纳米材料；  复合氧化物；  氧化镧；  低温固相反应法；  低温燃烧合成法；  超声化学法；  熔盐合成法；  

PECVD法氮化硅薄膜生长工艺的研究第267-272页

关键词: 等离子体增强化学气相沉积法；  氮化硅薄膜；  生长速率；  折射率；  硅衬底；  

碳纳米管非对称接触结构制作及电学性能研究第273-276页

关键词: 单壁碳纳米管；  介电泳；  电子束光刻；  非对称；  整流；  

Au点阵模板控制生长ZnO堆垒单晶棒第277-281页

关键词: 氧化锌；  au点阵模板；  磁控溅射；  单晶堆垒；  光学特性；  

La基高k栅介质的研究进展第282-289页

关键词: 高k栅介质；  la基氧化物；  二氧化硅；  金属氧化物半导体场效应晶体管；  摩尔定律；  

绒面掺铝氧化锌透明导电薄膜研究进展第290-296页

关键词: 绒面掺铝氧化锌；  透明导电薄膜；  磁控溅射；  湿法刻蚀；  太阳电池；  

纳米CuO制备与应用技术进展第297-303页

关键词: 纳米氧化铜；  催化作用；  传感器；  抗菌作用；  分散性；  

CdSe/SiO_2异质复杂纳米结构的可控制备第304-307页

关键词: 异质纳米结构；  热蒸发法；  单晶；  非晶；  

三聚氰胺甲醛树脂壁微胶囊的研究进展第308-314页

关键词: 微胶囊；  三聚氰胺甲醛树脂；  壁材；  性能；  制备；  

纳米结构材料在太阳电池中的应用第315-320页

关键词: 纳米结构材料；  多激子产生；  低反射；  纳米晶粒；  太阳电池；  光伏性能；