微纳电子技术杂志北大期刊统计源期刊

微纳电子技术 2010年第03期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

可调谐微机电电感第129-135页

关键词: 可调电感；  可调比；  可调范围；  电感量；  品质因素；  微机电系统；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

纳米分子电子器件的研究第136-141页

关键词: 分子开关；  整流器；  分子晶体管；  分子器件；  碳纳米管；  

激光器阵列波谱合成模拟中的误差分析第142-146页

关键词: 半导体激光器；  中心波长；  半宽；  波谱合成；  激光器阵列；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

Nb掺杂TiO2纳米管的制备及其氢敏特性第147-151页

关键词: 氢气传感器；  氧化钛；  纳米管；  阳极氧化；  掺杂效应；  

形貌对LiFePO4性能影响的研究进展第152-156页

关键词: 正极材料；  磷酸铁锂；  锂离子电池；  碳掺杂；  形貌；  纳米材料；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

4H-SiC肖特基微型同位素电池第157-162页

关键词: mems；  辐生伏特效应；  微电池；  63ni放射源；  肖特基；  

黏性耗散对微喷管性能的影响第163-169页

关键词: 数值计算；  黏性耗散；  微喷管；  流量系数；  推力效率；  

MEMS毫米波滤波器的设计与制作第170-173页

关键词: 微电子机械系统；  毫米波；  滤波器；  微机械加工；  微屏蔽线；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

3333l/mmX射线全镂空自支撑透射光栅的制备与测试第174-178页

关键词: 镂空透射光栅；  电子束光刻；  x射线光刻；  微电镀；  衍射效率；  

新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究第179-182页

关键词: 紫外纳米压印；  硅片衬底修饰；  抗粘连层；  图案复制；  

有限元在金属微结构电铸特性分析中的应用第183-187页

关键词: 微结构；  微细电铸；  流场；  电场；  仿真；  

硅油稀释PDMS法制备紫外纳米压印软模板第188-192页

关键词: 聚二甲基硅氧烷；  硅油；  紫外纳米压印；  软模板；  浇铸法；