产品cmos兼容机械寿命可靠性要求光刻掩模投影设备sige专利技术
摘要：IMEC研发出高端工业用11M像素微镜阵列 IMEC通过事实证明其微镜阵列无蠕变，机械寿命达1012个周期。集成微镜阵列，可以用于录像投影设备和光刻掩模刻写机。IMEC采用高压在0．18μmCMOS200mm晶圆上运用6级内互连制备出8μm微镜阵列。该阵列采用IMEC的SiGe MEMS平台专利技术，满足了微镜的机械可靠性要求，产品平整度高，与高速CMOS兼容。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《微纳电子技术》（CN：13-1314/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《微电子技术》被俄罗斯《AJ》收录、英国《SA》,INSPEC数据库收录、美国《剑桥科学文摘》收录《剑桥科学文摘》、剑桥科学文摘社ProQeust数据库、《物理学、电技术、计算机及控制信息数据库》、北大2014版优秀期刊、美国《ProQuest数据库》、美国《乌利希期刊指南》收录。
部级期刊
人气 372040 评论 74
省级期刊
人气 366830 评论 69
人气 308344 评论 62
人气 270210 评论 66
