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微纳电子技术 2009年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

AlxGa1-xN／GaN异质结构中二维电子气的自旋性质第65-69页

关键词: 异质结构；  二维电子气；  自旋；  磁输运；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

纳米晶浮栅存储器的模拟、制备和电学特性第70-74页

关键词: 纳米晶；  保持特性；  高介电常数隧穿介质；  金属纳米晶；  浮栅存储器；  

高性能AlGaN／GaN HEMT的肖特基特性第75-78页

关键词: gan高电子迁移率晶体管；  肖特基接触；  理想因子；  泄漏电流；  表面处理；  表面钝化；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

快速率生长MBE InAs／GaAs（001）量子点第79-83页

关键词: 分子束外延；  量子点；  inas沉积量；  形态变化；  密度；  

锂离子电池正极材料纳米LiFePO4第84-90页

关键词: 锂离子电池；  纳米技术；  电化学性能；  合成；  磷酸铁锂；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

微流体系统中微阀的研究现状第91-98页

关键词: 微流体系统；  有源微阀；  无源微阀；  常闭型微阀；  常开型微阀；  

微通道交流电渗粒子收集位置的确定第99-103页

关键词: 交流电渗；  粒子收集；  微通道；  数值仿真；  极化；  

单晶硅纳米压痕过程的有限元模拟与实验验证第104-107页

关键词: 纳米压痕；  有限元模拟；  微纳米技术；  微纳尺度；  相变；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

薄膜材料研究中的XRD技术第108-114页

关键词: x射线衍射；  晶格参数；  应力；  应变；  位错密度；  mosaic模型；  

ULSI制造中Cu的电化学机械抛光第115-118页

关键词: 超大规模集成电路；  铜；  电化学机械抛光；  化学机械抛光；  抛光机理；  

电化学清洗在太阳能电池制绒前的应用第119-122页

关键词: 太阳能电池；  制绒；  清洗；  表面沾污；  硅片；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

一种高精度CMOS带隙基准电路的设计第123-126页

关键词: 级联自偏置结构；  带隙基准；  温度补偿；  电源抑制比；  

微纳电子技术杂志国际视点

技术第127-127页

关键词: 纳米技术；  adidas；  北京奥运会；  安德鲁斯；  环境测试；  流体技术；  运动鞋；  

产品第127-128页

关键词: 微流体芯片；  产品；  caltech公司；  显微镜；  工程师；  

市场第128-128页

关键词: 纳米技术；  产品开发；  市场营销；  战略目标；