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微纳电子技术 2008年第12期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

电子束光刻在纳米加工及器件制备中的应用第683-688页

关键词: 电子束光刻；  电子束直写；  电子束邻近效应校正；  纳米制造；  纳米器件；  纳米结构；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

中波-长波双色量子阱红外探测器第689-693页

关键词: 量子阱红外探测器；  双色；  暗电流密度；  响应光谱；  探测率；  二维光栅；  

下期预告第693-693页

铁电栅材料GaN基场效应晶体管的特性第694-697页

关键词: gan基fet；  自发极化；  铁电材料；  载流子浓度；  转移特性；  跨导；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

（Ni、Li）掺杂ZnO薄膜的制备及其性能第698-702页

关键词: 稀磁半导体；  旋涂；  铁磁性；  光致发光；  

Si（111）衬底上GaN外延材料的应力分析第703-705页

关键词: 氮化镓；  aln插入层；  喇曼散射；  光荧光谱；  应力；  si衬底；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

Su-8胶-金属复合材料电热微驱动器第706-711页

关键词: 电热微驱动器；  薄层空气热传导；  cu牺牲层；  非硅表面微加工；  微机电系统；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

Ka波段Si基微机械宽带垂直过渡第712-715页

关键词: ka波段；  si基微机械；  三维集成电路；  宽带垂直过渡；  热压键合；  

基于表面等离子体的微纳光刻技术第716-719页

关键词: 表面等离子体；  纳米光刻；  近场光刻；  倏逝波；  局域增强；  

阳极氧化铝膜孔径的测量第720-723页

关键词: 纳米膜；  阳极氧化铝膜；  孔径测量；  扫描电镜；  图像处理；  染色算法；  

各向异性腐蚀制备纳米硅尖第724-728页

关键词: 硅尖；  各向异性；  氧化削尖；  晶面；  掩模；  

Si基体二维深通道微孔列阵刻蚀技术第729-733页

关键词: 硅基体；  二维通道电子倍增器；  微孔列阵；  感应耦合等离子体；  光电化学刻蚀；  

微纳电子技术杂志微电子器件与技术

温度控制装置中的InSb-In磁敏电阻第734-737页

关键词: 磁敏电阻；  温度特性；  温控器；  灵敏度；  

微纳电子技术杂志国际视点

Mountains软件技术的新型4D组件可用于分析表面演变第738-738页

关键词: 表面结构；  软件组件；  软件技术；  4d组件；  计量分析；  结构分析；  高度变化；  

斯坦福表示纳米管电路能够进行批量生产第738-738页

关键词: 集成电路芯片；  批量生产；  纳米管；  电气工程师；  半导体产业；  创新项目；  经济实用；  cnt；