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微柔性铰链转动能力和精度特性研究

作者:邱丽芳; 南铁玲; 柳林柔性铰链转动能力精度特性柔度比

摘要:对柔性铰链的转动能力和精度特性等方面进行了理论分析和研究,给出了柔性铰链的柔度矩阵和精度特性矩阵的计算公式,得到表示柔性铰链转动能力的变形量方程和表示精度特性的位移方程。用VC++实现了相应的参数化程序。提出了铰链内各柔度间的比值概念,为定量地比较柔性铰链的性能提供了依据。并给出了两种MEMS柔性铰链的分析实例。

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微纳电子技术

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