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微纳电子技术 2007年第05期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

高失配半导体薄膜材料的纳米异质外延新技术第219-224页

关键词: 纳米异质外延；  应变；  晶格失配薄膜材料；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

纳米晶非挥发性存储器研究进展第225-230页

关键词: 纳米晶；  非挥发性存储器；  分立电荷存储；  纳米晶存储器；  

新一代nm级集成工艺仿真工具-SenTaurus Process第231-234页

关键词: 集成电路；  纳米层次；  工艺仿真；  可制造性设计；  

Si基光子晶体的制备与器件应用第235-240页

关键词: si基光子晶体；  制备方法；  si基光子器件；  si基光子集成；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的光电性能研究第241-245页

关键词: 掺锡氧化铟薄膜；  光学性能；  方块电阻；  

碳纳米管轴向压缩行为的分子动力学模拟第246-249页

关键词: 碳纳米管；  分子动力学模拟；  临界应变；  

射频溅射法生长ZnO薄膜的参数研究第250-253页

关键词: zno陶瓷靶材；  薄膜；  射频；  x射线衍射分析；  原子力显微镜；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

振动式微型发电机的研究现状与发展趋势第254-258页

关键词: 微机电系统；  振动式发电机；  电磁；  静电；  压电；  

MEMS封装中的封帽工艺技术第259-263页

关键词: 微电子机械系统封装；  封帽工艺；  吸附剂；  润滑剂；  

微纳电子技术杂志显微、测量、微细加工技术与设备

大气状态下AFM阳极氧化加工重复性的研究第264-267页

关键词: 加工重复性；  原子力显微镜阳极氧化加工；  最大残差法；  

窄脉冲半导体激光器峰值功率测量方法研究第268-270页

关键词: 峰值功率；  脉宽；  测量不确定度；  

微纳电子技术杂志会议信息

第十届全国敏感元件与传感器学术会议（STC’07）将于2007年8月29～31日在北京召开第271-271页

关键词: 学术会议；  敏感元件；  传感器；  北京；  stc；  

微纳电子技术杂志启事

《微纳电子技术》关于7／8期合刊的启事第271-271页

《微纳电子技术》征稿启事第272-272页