作者：朱平; 杨卫微观形貌分形表征
摘要：根据分形几何理论，用W—M函数表征压阻式加速度传感器固支梁的表面形貌，并且提出把分形参数D与传统统计参数咫结合起来共同评定微观形貌质量。利用MSA-400-TPM2型白光干涉仪对其进行测量，通过实验验证。
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《微纳电子技术》（CN：13-1314/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《微电子技术》被俄罗斯《AJ》收录、英国《SA》,INSPEC数据库收录、美国《剑桥科学文摘》收录《剑桥科学文摘》、剑桥科学文摘社ProQeust数据库、《物理学、电技术、计算机及控制信息数据库》、北大2014版优秀期刊、美国《ProQuest数据库》、美国《乌利希期刊指南》收录。
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