作者：卜夏正; 武一宾; 商耀辉; 王建峰共振隧穿二极管纳米级薄层精细控制x射线双晶衍射动力学模拟
摘要：在共振隧穿二极管（RTD）的MBE生长中，用双生长速率和束流调制技术实现了RTD nm级薄层的精细控制；用X射线双晶衍射仪扫描并分析了典型双势垒RTD样品的衍射摇摆曲线；用计算机对样品结构进行了动力学模拟分析。结果显示样品异质结界面和晶体质量良好，纳米薄膜的组分和厚度偏差分别控制在2％和3．5％之内，说明薄层的生长得到了精细控制。
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《微纳电子技术》（CN：13-1314/TN）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《微电子技术》被俄罗斯《AJ》收录、英国《SA》,INSPEC数据库收录、美国《剑桥科学文摘》收录《剑桥科学文摘》、剑桥科学文摘社ProQeust数据库、《物理学、电技术、计算机及控制信息数据库》、北大2014版优秀期刊、美国《ProQuest数据库》、美国《乌利希期刊指南》收录。
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