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微纳电子技术 2006年第02期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志专家论坛

半导体光子晶体有源器件的研究进展第65-72页

关键词: 光子晶体；  光子带隙；  光子晶体有源器件；  

名词术语释义——光子晶体和光子带隙第72-72页

关键词: 光子晶体；  光子带隙；  术语释义；  名词；  周期性变化；  物理功能；  周期变化；  介电常数；  人工构建；  新材料；  

微纳电子技术杂志纳米器件与技术

硅基单电子晶体管的制备第73-79页

关键词: 硅基单电子晶体管；  制备方法；  电子束曝光；  

光子晶体微腔发光二极管第80-84页

关键词: 光子晶体；  发光二极管；  微腔；  

微纳电子技术杂志纳米材料与结构

LB技术制备金纳米粒子单层膜第85-88页

关键词: 金纳米粒子；  lb技术；  扫描电子显微镜；  原子力显微镜；  

“Y”型、竹节型与直纳米碳管的力学特性研究第89-94页

关键词: 竹节型碳管；  直纳米碳管；  拉伸；  分子动力学；  

微纳电子技术杂志MEMS器件与技术

计及边缘效应的静电驱动微结构静电力计算第95-97页

关键词: 静电力；  平行板电容器；  边缘效应；  

横向振动微谐振器的仿真分析第98-101页

关键词: 微谐振器；  折叠梁；  有限元法；  仿真；  

微纳电子技术杂志显檄、测量、微细加工技术与设备

电子束曝光机激光工件台系统研制第102-106页

关键词: 电子束曝光机；  激光干涉仪；  工件台；  精密定位；  

铝薄膜CMP影响因素分析第107-111页

关键词: 化学机械抛光；  铝薄膜；  全局平面化；  

微纳电子技术杂志业界快讯

纳米电子器件系统知识讲座学习班将于2006年暑假期间开办第112-112页

关键词: 纳米电子器件；  知识讲座；  暑假；  系统；  国内外；  纳米技术；  科研单位；  技术中心；  主办单位；  电子技术；  

海淀走读大学首开“纳米专业”应用学习班第112-112页

关键词: 应用型人才；  纳米技术；  清华大学；  高职班；  研究人员；  专家论证；  实验型；  中科院；  学生；