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操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用

作者:刘静微操作纳操作微电机系统纳电机系统微装配微加工微测量微型机器人自动化

摘要:在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题.这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向.本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用.可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具.

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微纳电子技术

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