作者:徐红玉; 张元冲; 宋亚勤; 卢秉恒; 陈殿云短脉冲激光薄膜热传递微尺度显微微加工薄膜结构
摘要:短脉冲激光显微微加工因其具有制作高精度微结构的能力和其在现代微制作技术中的应用,微尺度薄膜热传递的研究受到极大关注,近年来对薄膜结构高频加热的研究迅猛发展.本文对十年来薄膜微尺度热传递的相关研究进展做了简要评述.
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《物理学进展》(CN:32-1127/O4)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《物理学进展》适合于大学高年级学生、在校研究生和从事物理学研究及教学的工作者。主要介绍物理学各分支学科的进展和成就,以及其他学科和技术对物理学所提出的新课题。
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