作者：陈兆权 夏广庆 刘明海 郑晓亮 胡业林 李...表面波等离子体表面等离激元粒子模拟电离过程
摘要：基于表面等离激元（SPP）的表面波等离子体（SWP）源，具有高密度、低温度及高产率等优异性能，其应用在电子器件微纳加工、材料改性等领域。但由于SPP激励SWP放电的电离过程难于用理论分析和实验测量描述，因而SWP源均匀稳定产生的电离发展过程一直未研究清晰。本文以SWP放电的数值模拟为研究手段，采用等离子体与电磁波相互作用的粒子模拟（PIC）方法，结合蒙特卡罗碰撞（MCC）方法处理碰撞效应的优势，研究气体压强影响电离过程的电磁能量耦合机理。模拟结果表明SWP的高效产生是SPP的局域增强电场致使，气体压强能够改变波模共振转换的出现时刻而影响了SWP的电离发展过程。本文的研究成果展示了SPP维持SWP放电的电离过程，可为下一代米级SWP源的参数优化提供设计建议。
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