作者：朱丽丹 孙方远 祝捷 唐大伟纳米金属薄膜飞秒激光热反射
摘要：随着微电子器件尺寸的减小、工作频率的提高,金属薄膜中电子与声子将处于非平衡状态,这将导致微电子器件的热阻增大.为准确地对这些微电子器件进行热管理,电子-声子耦合系数的测量变得越来越重要.本文采用飞秒激光抽运-探测热反射法研究了不同厚度的金属纳米薄膜的非平衡传热过程.通过抛物两步模型对实验数据进行拟合,在拟合过程中引入电子温度与声子温度对反射率影响的比例关系,从而优化了拟合结果.通过对不同厚度的Ni膜与Al膜的电子-声子耦合系数的研究,表明金属薄膜中的电子-声子耦合系数并不随薄膜厚度的改变发生变化.实验结果还验证了探测光的反射率同时受到电子温度和声子温度的影响,并通过数据分析量化了电子温度和声子温度对反射率的影响系数.
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