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90nm CMOS工艺下p^+深阱掺杂浓度对电荷共享的影响

作者:刘凡宇 刘衡竹 刘必慰 梁斌 陈建军电荷共享单粒子效应双极晶体管效应

摘要:基于3维TCAD器件模拟,研究了90nmCMOS双阱工艺下p+深阱掺杂对电荷共享的影响.研究结果表明:改变p+深阱的掺杂浓度对PMOS管之间的电荷共享的影响要远大于NMOS管;通过增加p+深阱的掺杂浓度可以有效抑制PMOS管之间的电荷共享.这一结论可用于指导电荷共享的加固.

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物理学报

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