作者:赵晓英 刘世建 褚君浩 戴宁 胡古今铁电薄膜平板光波导锆钛酸铅
摘要:采用化学溶液沉积法在LaNiO3涂布的硅晶片上制备了高度(100)择优取向,表面均匀、平整、致密无裂纹的PbZr0.5Ti0.5O3/PbZr0.4Ti0.6O3双层膜.双层膜具有单一的钙钛矿相,同时拥有良好的铁电性能,剩余极化强度高达64μC/cm^2,平均矫顽场仅为43.6 kV/cm.棱镜-薄膜耦合实验结果表明PbZr0.5Ti0.5O3/PbZr0.4Ti0.6O3双层膜系表现出平板光波导特征,能够承载四个横电模;通过求解模式本征方程分别得到了PbZr0.4Ti0.6O3膜层和PbZr0.5Ti0.5O3膜层的折射率及厚度参数.
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