作者：王坤; 姚淑德; 侯利娜; 丁志博; 袁洪涛; ...异质结弹性应变znmgo
摘要：利用卢瑟福背散射／沟道技术对射频等离子体辅助分子束外延法生长在蓝宝石衬底上的ZnO／Zn0.9Mg0.1O／ZnO异质结进行了组分分析，并得到了异质结弹性应变随深度的变化，应变由界面向表面逐渐释放，并由负变正，且在ZnO与Zn0.1O界面处轻微增大．负的应变是由于ZnO与衬底的晶格失配和热失配，而逐渐变为正值是Zn0.9 Mg0.1与ZnO的晶格常数差异及弹性应变的逐渐释放所致．
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