作者：万威; 唐春艳; 王玉梅; 李方华gan晶体缺陷高分辨电子显微学解卷处理电子显微像晶体结构堆垛层错高分辨处理原理原子排列
摘要：借助高分辨电子显微像结合解卷处理的方法研究了GaN晶体中的堆垛层错.简要介绍了高分辨电子显微像的解卷处理原理,指出通过解卷处理可以把本来不直接反映待测晶体结构的高分辨电子显微像转换为直接反映晶体结构的图像.用高分辨电子显微像观察了GaN晶体中的堆垛层错,对高分辨电子显微像作了解卷处理.在解卷像上清晰可见缺陷核心的原子排列情况,据此确定了层错的类型.此外,还讨论了解卷处理在研究晶体缺陷中的效用.
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