作者:顾培夫; 陈海星; 郑臻荣; 刘旭消光系数多层薄膜弱吸收窄带干涉滤光片吸收薄膜ta2o5离子束溅射直接反演波分复用si02基本原理评价方法透射率表达式
摘要:从窄带干涉滤光片的峰值透射率测量可以直接反演出弱吸收薄膜的消光系数,从而得到一种能简易而又精确地评价多层薄膜微弱吸收的新方法.推导了弱吸收窄带干涉滤光片的吸收表达式,阐述了确定弱吸收薄膜消光系数的基本原理.以离子束溅射的Ta2O5/SiO2波分复用滤光片为例,分析了这种评价方法的基本精度.
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