作者：王洪昌; 王占山; 李佛生; 秦树基; 杜芸; ...多层膜反射率帽层极紫外电场强度吸波材料
摘要：介绍了在极紫外波段，利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低，使多层膜光学元件能够长时间稳定工作．计算了在13．9nm波长处Mo／Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率，利用单纯形调优法，对帽层和多层膜的周期厚度进行优化，同时把分层理论用于多层膜帽层优化，可使多层膜的反射率得到进一步提高．分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况·
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