作者：宋永梁; 季振国; 刘坤; 王超; 向因; 叶志...光致发光氧化锌薄膜荧光光谱原子力显微镜纤锌矿结构c轴取向程度热处理参数半导体材料
摘要：采用溶胶—凝胶旋涂法在Si(111)衬底上生长了ZnO薄膜，并用荧光光谱、原子力显微镜和XRD对ZnO薄膜样品进行了分析。结果表明，溶胶—凝胶旋涂法制备的ZnO薄膜为纤锌矿结构，其c轴取向程度与热处理温度有很大的关系，当热处理温度小于550℃时，氧化锌薄膜在室温下均有较强的紫外带边发射峰，而可见波段的发射很弱；当热处理温度高于550℃时，可见波段发射明显增强，对经过不同时间热处理的ZnO薄膜样品分析表明，氧化锌薄膜的荧光特性及表面形貌与热处理时间也有很大关系，时间过短可见波段的发射较强，但时间过长会导致晶粒发生团聚，导致紫外发射峰强度减弱。
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