利用多频干涉法测量石英片的厚度

作者：龚彦恺; 白翠琴多频干涉厚度测量离散傅里叶光谱石英片

摘要：以多频干涉原理为基础,借助Y型光纤、卤素灯、光栅光谱仪等实验器材,搭建了微米量级的测厚仪,通过测量石英片上下表面反射光的干涉光谱图,经过离散傅里叶分析得到2块待测石英片样品的厚度为(48.7±0.7)μm和(8.9±2)μm,其值与迈克耳孙干涉法测量得到结果一致,并给出其理论上的测量范围.该测厚仪具有方便、可原位测量的优点.

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