利用迈克耳孙干涉仪检测薄膜玻璃厚度一致性

作者：雷春雨; 李金环; 刘华迈克耳孙干涉仪薄膜玻璃厚度差值白光干涉螺旋测微器

摘要：提出了利用迈克耳孙干涉仪快速检测薄膜玻璃厚度一致性的方法,即只在干涉仪的单一光路同时插入2片材料相同的薄膜玻璃片,对比白光通过两薄膜玻璃片产生的干涉图样,判断其厚度是否一致.对相差较大的玻璃片进一步测出厚度差值,并与螺旋测微器测得的结果进行比较,验证了该方法的可行性.

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