激光分子束外延法制备氟铝共掺氧化锌薄膜及其物性研究

作者：马剑钢; 林东氟铝共掺氧化锌激光分子束外延透明导电锌空位

摘要：采用激光分子束外延方法,将高熔点的AlF3和ZnO混合后制成高质量靶材,制备出具有高电导率和热稳定性的氟、铝共掺氧化锌薄膜（AFZO）,并研究了AZO和AFZO的光电性质随退火条件的变化,探讨了AZO薄膜缺陷的性质及其形成和作用机理.研究表明受主型缺陷——锌空位是导致在空气退火时AZO电学性质劣化的主要原因,而氟掺杂可以抑制锌空位的形成.

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