作者：王子昂; 郭航; 荣欣; 董桂芳马兰戈尼效应有机半导体场效应晶体管图案化工艺
摘要：有机场效应晶体管在柔性传感和显示驱动应用中展示出极大的潜力,但在大面积制备高性能有机薄膜及有机场效应晶体管方面仍面临大的挑战。本文介绍了一种利用等离子处理和马兰戈尼-咖啡环效应协同作用来图案化生长有机半导体薄膜的方法。经过对等离子体处理时间、混合溶剂的比例及溶液浓度等生长条件优化,在5 cm×5 cm的基片上得到了覆盖性较为完整的2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩(C8-BTBT)薄膜阵列。基于此薄膜构筑了底栅顶接触晶体管阵列,器件的平均迁移率达到7.9 cm2·V-1·s-1,阈值电压均小于-2 V,开关电流比大于104。本工作对未来大面积制备高性能有机半导体薄膜及晶体管具有一定的借鉴意义。
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