作者：戴正飞; 李越; 蔡伟平薄膜气敏传感器纳米结构
摘要：薄膜型气敏器件对气体具有探测灵敏度高、响应时间快、制备成本较低、易于小型化等特点，并且适于制备微型传感器，因此成为近年来传感器研究的重点。将纳米结构材料制作成薄膜型气敏传感器，具有常规传感器不可替代的优点：纳米结构构成的固体材料具有庞大的界面，提供了大量气体通道，从而大幅度提高了灵敏度和降低了工作温度，并可缩小传感器的尺寸。文章主要介绍了当前国内外纳米结构薄膜型气敏传感器的研究现状，概述了几种常见的纳米结构单元薄膜的气敏特性，扼要地分析了今后纳米薄膜型传感器的研究趋势。
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